极限真空：6.6×10-8Pa
磁控靶：内径50-内径200,1-4只；DC与RF兼容水冷，可根据需要选型尚可配置矩形靶：300×120圆柱靶：内径76×300-700电磁靶：内径70

可制备样品尺寸：内径50-内径150mm ，内径200×300mm，可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能。

样品加热温度可达600°C.其他选择增加功能：膜厚测试、反应溅射、离子束增强磁控溅射。