本设备具有多室，配制操作手套箱，分子泵及离子泵抽气系统，可获得洁净的10-6Pa超高真空。备有多个分子束外延束源炉、热蒸发、电子枪系统，膜厚测定。可用于制备有机材料薄膜及各种薄膜。